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提出了可用于微机电系统加工的细电子束液态曝光技术.对该工艺的曝光方式、真空度需求、抗蚀剂选择以及能量和剂量需求等问题进行了理论分析和实验研究.研究结果表明,在高于1.33×10-2 Pa的真空度下、采用曝光机内部曝光的方式,电子束曝光机所提供的电子束的能量和剂量可以满足环氧618等液体抗蚀剂固化需求的结论;并采用SDS-Ⅱ型曝光机在5×10-3 Pa的系统真空度、25 kV加速电压、3 μC/cm2曝光剂量的条件下,成功地固化了3 μm厚的环氧618液体,固化的图形结构与设计的图形基本