【摘 要】
：
研究了干和湿条件下，在β－ＳｉＣ薄膜上生长的ＳｉＯ＿２薄膜。β－ＳｉＣ薄膜异质外延是生长在正晶轴和与晶轴偏离２°的两种（００１）硅衬底上。在１０ｋＨｚ～１ＭＨｚ的范围内，测量了金属－氧化物－半导体结构的电容－电压和电导－电压特性。
论文部分内容阅读
研究了干和湿条件下，在β－ＳｉＣ薄膜上生长的ＳｉＯ＿２薄膜。β－ＳｉＣ薄膜异质外延是生长在正晶轴和与晶轴偏离２°的两种（００１）硅衬底上。在１０ｋＨｚ～１ＭＨｚ的范围内，测量了金属－氧化物－半导体结构的电容－电压和电导－电压特性。这些结果表明，对于偏晶轴样品，界面的陷阱密度和有效固定氧化物电荷密度，一般比正晶轴样品低一些。
The SiO 2 thin films grown on β-SiC films under dry and wet conditions were studied. The β-SiC thin film heteroepitaxy is grown on both the positive and two (001) silicon substrates that deviate from the crystal axis by 2 °. The capacitance-voltage and conductometric-voltage characteristics of the metal-oxide-semiconductor structure were measured over the range of 10 kHz to 1 MHz. These results show that for off-axis samples the interfacial trapping density and effective fixed oxide charge density are generally lower than for the positive-axis samples.
其他文献
提高自主创新能力是国家发展战略的核心,也是我省发展的战略任务。特别是“十二五”要加快发展转型,提高自主创新能力更是刻不容缓,建设合芜蚌试验区和技术
Improving the c
滔滔大海,碧波翻滚,甲午战后,日军趁机威逼我东南沿海,在祖国宝岛台湾上空,又翻卷着战争的阴云.一天,曲折的山道上,走来一老一少:身板壮实、长异联娜的老者,是武艺高强、驰
市场分析“婴儿沐浴保健房”是一种全新的行当,—般接待的都是刚出生不久的婴儿,所以也可以叫这种沐浴为“娃娃浴”。笔者认为.开办“婴儿沐浴保健房”大有发展前景。由于现
10月,金融风暴席巷全球,美国首当其冲受到影响,欧洲以及亚洲同样受到波及。据了解,在10月14日,戴姆勒集团宣布品牌调整计划,公开宣布放弃其在美国拥有的斯特林卡车品牌,并将
同样的两个10,不一样的时间概念。一个是2010年,一个是进入二十一世纪后的这10年。2010年10月10日那一天,不少人的手机都收到过纪念那一天的信息。网络时代,电子生活,时尚潮
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
现在随便拨通哪个手机,各种各样的手机彩铃定会让你大开“耳”界,动物的叫声、小孩的哭腔、搞笑的段子、翻唱的歌曲……手机彩铃已经成为一种流行时尚,手机彩铃制作师也成为
写话,是作文的启蒙阶段。《语文课程标准》对小学第一学段提出的目标是:对写话有兴趣,写自己想说的话,写想象中的事物,写出自己对周围事物的认识和感想。如何激发学生的写话
公务员作为国家的工作人员,代表国家机关为人民服务,公务员的工作态度近年来一直受到社会的广泛关注,许多社会舆论也对改善公务员的态度进行了广泛的呼吁,但是,公务员队伍的