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介绍了 C- V测量技术特点及其在半导体工艺检测上的应用 ,这对提高工艺质量及产品的可靠性起着重要的作用。
C—V技术及其在半导体工艺检测上的应用
【摘 要】
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介绍了 C- V测量技术特点及其在半导体工艺检测上的应用 ,这对提高工艺质量及产品的可靠性起着重要的作用。
【机 构】
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上海春兰新微电子公司
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2000年3期
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