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研究了氧离子的引入对ITO膜生成的影响。通过辉光光谱测量,认定氧离子与Zn,Sn原子发生能量交换,从而为氧化反应提供活化能,使ITO膜生成所要求的衬底温度降低。
氧离子对ITO膜生成的影响
【摘 要】
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研究了氧离子的引入对ITO膜生成的影响。通过辉光光谱测量,认定氧离子与Zn,Sn原子发生能量交换,从而为氧化反应提供活化能,使ITO膜生成所要求的衬底温度降低。
【机 构】
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河北大学固体发光研究室,河北大学固体发光研究室
【出 处】
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河北大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1997年S1期
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