【摘 要】
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当今世界处于信息时代,电子信息产业日新月异地飞速发展着,计算机的影响已遍及每一个经济领域和人们生活的每一个方面.微电子技术作为新技术革命的主角,已成为衡量一个国家经
【基金项目】
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国家自然科学基金!资助项目 (批准号 :59773 0 0 7)
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当今世界处于信息时代,电子信息产业日新月异地飞速发展着,计算机的影响已遍及每一个经济领域和人们生活的每一个方面.微电子技术作为新技术革命的主角,已成为衡量一个国家经济实力和科技进步的重要标志[1,2].微电子技术的不断发展得益于半导体与集成技术的不断提高,光刻技术和光致抗蚀剂是微电子技术中的核心技术和关键材料.大规模集成电路的集成度以三年增长四倍的速度发展着[3～7].集成度的不断提高,不仅意味着最小器件尺寸的变小,也意味着高速、高可靠、低能耗和低成本.由于光刻工艺的极限分辨率Ｒ正比于曝光波长λ,反比于棱
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