采用InGaAs或InAlAs缓冲层的高In组分InGaAs探测器结构材料特性（英文）

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sz_ydz

【摘要】

：

利用气态源分子束外延在InP衬底上生长了具有InxGa1-xAs或InxAl1-xAs连续递变缓冲层的高In组分In0.78Ga0.22As探测器结构.通过原子力显微镜、X射线衍射、透射电子显微镜和光

【作者】

：

顾溢王凯李成方祥曹远迎张永刚

【机构】

：

中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,中国科学院研究生院,中国科学院红外成像材料与器件重点实验室

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2011年6期

【关键词】

：

光电探测器高In组分缓冲层 INGAAS INALAS photodetector high indium content buffer InGaAs In

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利用气态源分子束外延在InP衬底上生长了具有InxGa1-xAs或InxAl1-xAs连续递变缓冲层的高In组分In0.78Ga0.22As探测器结构.通过原子力显微镜、X射线衍射、透射电子显微镜和光致发光对它们的特性进行了表征和比较.结果表明,具有InxGa1-xAs或InxAl1-xAs缓冲层的结构都能获得较平整的表面;具有InxGa1-xAs缓冲层的探测器结构表现出更大的剩余应力;具有InxAl1-xAs缓冲层的探测器结构所观察到的光学特性更优.

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