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重点是研究不同腐蚀条件对晶体硅片表面织构形貌的影响。通过分析腐蚀条件对表面微结构均匀性的影响,用金相显微镜观察绒面的表面织构形貌,对结果进行分析讨论,确定合理的工艺条件,为实际生产过程中制作良好绒面提供一种最佳工艺条件的参数范围。
太阳能电池中晶体硅绒面的制作研究
【摘 要】
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重点是研究不同腐蚀条件对晶体硅片表面织构形貌的影响。通过分析腐蚀条件对表面微结构均匀性的影响,用金相显微镜观察绒面的表面织构形貌,对结果进行分析讨论,确定合理的工
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2010年7期
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