在光纤上沉积取向ZnO薄膜

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本文介绍在直径为80μm的熔石英单模光纤的一侧直接溅射沉积取向ZnO薄膜的工艺。一个由这种薄膜复合而成的4GHz压电换能器验证了薄膜的取向性。频率扫描的换能器输入阻抗矢量给出了光纤中存在声波的证据。直接制作在光纤上的声换能器由于有效的声-光互作用而在光纤中心产生场聚焦,有可能制作许多新的光纤-光学信号处理器件。 This article describes the process of direct sputter deposition of oriented ZnO thin films on one side of fused silica single mode fiber with a diameter of 80 μm. A 4GHz piezo-electric transducer made from this film verified the film’s orientation. The frequency-scanned transducer input impedance vector gives evidence of the presence of sound waves in the fiber. Acoustic transducers fabricated directly on optical fibers generate field-focus in the fiber center due to effective acousto-optic interaction, making it possible to fabricate many new optical fiber-optical signal processing devices.
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