硅片的直接键合

来源 :稀有金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liushenglg

【摘要】

：

介绍了硅片的直接键合工艺、键合机理、键合质量评价方法以及键合技术目前的研究和应用状况等 The direct bonding process, bonding mechanism, bonding quality evaluatio

【作者】

：

王敬屠海令刘安生张椿周旗钢朱悟新

【机构】

：

北京有色金属研究总院

【出处】

：

稀有金属

【发表日期】

：

1998年05期

【关键词】

：

硅片硅片键合直接键合

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介绍了硅片的直接键合工艺、键合机理、键合质量评价方法以及键合技术目前的研究和应用状况等 The direct bonding process, bonding mechanism, bonding quality evaluation method and the current research and application status of bonding technology are introduced

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