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优化设备作业流程可提高生产效率和提升效益。对现有设备作业流程进行分析,针对作业流程的关键问题——提高设备的利用率和晶圆片的产能,提出设备自动化作业系统优化作业流程以及与MES系统、GUI系统交互、信息共享的解决方案,应用于某半导体企业中并取得较好效果。
设备自动化作业系统的设计与实现
【摘 要】
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优化设备作业流程可提高生产效率和提升效益。对现有设备作业流程进行分析,针对作业流程的关键问题——提高设备的利用率和晶圆片的产能,提出设备自动化作业系统优化作业流程
【机 构】
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无锡机电高等职业技术学校
【出 处】
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机电信息
【发表日期】
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2009年30期
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