一种获得无油高真空和超高真空的新式高效涡轮分子泵

来源 :真空技术报导 | 被引量 : 0次 | 上传用户:flysnake
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
对涡轮分子泵的性能作了简单的总结之后就开始考虑到设计一种新式的高效涡轮分子泵。通过提高转子的转速或者改进转子叶轮的几何形状,就能提高抽速。压缩比和抽速之间的关系是设计新式涡轮分子泵的决定性因素。对氢气的压缩比在低于300时就会造成对轻气体(H2,He)的抽速的显著下降。 由所能达到的最大有效抽速和维修问题来决定是卧式转子还是立式转子。本文指出,目前先进的高效涡轮分子泵应该是卧式双转子、不透光性的叶轮结构、合适的最佳泵体和由电子传动。 After a brief summary of the performance of the turbomolecular pump, we began to consider the design of a new type of high efficiency turbomolecular pump. Pumping speed can be increased by increasing the rotor speed or by improving the geometry of the rotor impeller. The relationship between compression ratio and pumping speed is a decisive factor in designing a new turbomolecular pump. Hydrogen compression ratios below 300 result in a significant drop in the pumping speed of light gases (H2, He). Depending on the maximum effective pumping speed and maintenance issues that can be achieved, the horizontal rotor or the vertical rotor can be determined. This paper points out that the current advanced high efficiency turbo molecular pump should be a horizontal dual rotor, opaque impeller structure, suitable for the best pump body and by the electronic drive.
其他文献
在恒定电流的动态电路分析中,有些题目较为复杂,必须先分析局部电路的变化,再分析整体总电阻和总电流的变化,再回到局部问题中继续分析,有时兜兜转转,要分析很久。用等效电源
睑板腺癌是一种比较少见、恶性度较高的眼睑肿瘤。其发病率为6~12万分之一,占所有眼脸癌的1%,死亡率为6%。本病早期常被忽略,不能及时作出正确诊断。国外文献,截止到1963年共有
男人追求女孩子时,除了长相无法改变外,总能化成各种完美形象,翩然展现在你眼前,满嘴甜言蜜语,举止优雅得像完美的绅士,对你无比关心体贴,连脾气都不敢乱发。被恋爱冲昏头脑
自主学习,就是学生自觉、主动、积极地获取知识的过程。自主学习能力则是学生在学习活动中表现出来的一种综合能力。具有这种能力的学生有强烈的求知欲,善于运用科学的学习方
液压泵组装置是液压泵站的重要组成单元,在工程液压系统设计中,液压泵组装置的设计占据了相当一部分工作量,然而又是有规律可循的,采用CAD手段能有效提高液压泵组装置的设计效率和质
讨论对心摆动油缸机构传动角的极值和传动角变化的合理性问题;分析始末传动角正弦之比等于给定值时该类机构的综合计算方法,并作实例计算。 The reasonableness of the change
本文在36具(72例)中国成年人尸体中观察了半腱肌的形态和血管神经。根据肌肉的血管分布规律,从上向下可分为上1/3段、中1/3段和下1/3段。上1/3段由臀下动脉半腱肌支和旋股内
详细地研究了人胎盘细胞膜胰岛素受体的性质,进一步证实人胎盘细胞膜含有丰富的与胰岛素典型靶细胞上类似的胰岛素受体。 The properties of the human placental membrane
早在二千余年前近视即被注意,以后研究者不乏其人,但在文献中发现一些学说并不合理却流行很广,实为咄咄怪事。现列举一些不合理学说如下: 1、一切适应器官都以环境为转移,只
最近,无锡减震器厂试制成功了WJ橡胶隔震垫,试用效果良好,接近日本同类产品水平。 这种隔震垫具有四种不同直径、不同高度的圆凸台,两面交错配置,可以承受任意方向的荷载。由