基于CO_(2)激光单点加热的微泡腔制备及其性能研究

来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bushishuai

【摘要】

：

为了简化微泡腔的制备工艺,在传统CO2激光双向加热方案的基础上,采用CO2激光单点加热毛细管。通过精确控制加热温度和气体流速,制备出半球形的微泡腔,进而通过调节激光光斑,

【作者】

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郭涛麻艳娜顾兆麒谷付星

【机构】

：

上海理工大学光电信息与计算机工程学院

【出处】

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光学仪器

【发表日期】

：

2021年2期

【关键词】

：

CO_(2)激光单点加热球形微泡腔谐振品质因数

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为了简化微泡腔的制备工艺,在传统CO₂激光双向加热方案的基础上,采用CO₂激光单点加热毛细管。通过精确控制加热温度和气体流速,制备出半球形的微泡腔,进而通过调节激光光斑,增加加热面积的方式制备出球形的微泡腔。使用光学显微镜和原子力显微镜(AFM)对制备的球形微泡腔进行表征,并通过COMSOL仿真验证了所制备微泡腔的性能。所制备的微泡腔表面光滑,壁厚最薄处可达到亚微米量级。研究结果表明,通过CO₂激光单点加热制备的微泡腔的壁厚存在轻微的不均匀

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