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采用ISG工艺,在氧化铝陶瓷基片上合成SrTiO3陶瓷薄膜,研究了溶胶性能和溶胶-凝胶的晶化过程,分析了薄膜的形成及结构.结果表明,SrO-TiO2复合氧化物系统由凝胶向结晶相的转变过程中,无简单氧化物等中间相生成,经400～800℃,0.5 h,可生成结晶度较好的单一的立方SrTiO3相.SrTiO3陶瓷薄膜晶粒为10 nm左右.