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本发明提一种用于基片上电镀铜的方法，该方法使用在酸性铜电镀槽中不溶解的阳极，以及单独引入所消耗的铜离子，其特征是，在不用隔膜和辅助电解液的情况下，
用于基片电镀铜的方法
【摘 要】
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本发明提一种用于基片上电镀铜的方法，该方法使用在酸性铜电镀槽中不溶解的阳极，以及单独引入所消耗的铜离子，其特征是，在不用隔膜和辅助电解液的情况下，
【出 处】
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有色冶金节能
【发表日期】
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2004年12期
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