差动电容敏感式力学传感器的信号提取电路

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xieym28

【摘要】

：

通过对加速度计的研究,开发了一类利用差动电容敏感的力学传感器的信号检测电路.在电路中给出了所使用的电子元器件,并进行分析求解,给出了电路的输出电压和传感器信号拾取电

【作者】

：

王宏伟张伟林宇张朝民

【机构】

：

北京信息工程学院传感技术研究中心,佳木斯大学理学院

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2003年3期

【关键词】

：

力学传感器信号提取微机械差动电容电路 micro-machine differential capacitance circuit

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通过对加速度计的研究,开发了一类利用差动电容敏感的力学传感器的信号检测电路.在电路中给出了所使用的电子元器件,并进行分析求解,给出了电路的输出电压和传感器信号拾取电容变化量之间的正比例关系.经过实验测试,当电容变化0.01 pF时,就有10 mV的输出电压.故该电路可以检测微弱电容的变化,特别是电容变化量为0.01~1.00 pF的小电容变化.

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