【摘 要】
：
主要研究了低磨料质量分数阻挡层抛光液的抛光性能,并将其与商用抛光液进行了对比.由实验结果可以看出,当固定抛光液中的磨料质量分数时,铜的去除速率随着磨料粒径的减小而升
【机 构】
：
河北工业大学电子信息工程学院,天津300130;天津市电子材料与器件重点实验室,天津 300130
论文部分内容阅读
主要研究了低磨料质量分数阻挡层抛光液的抛光性能,并将其与商用抛光液进行了对比.由实验结果可以看出,当固定抛光液中的磨料质量分数时,铜的去除速率随着磨料粒径的减小而升高.当固定磨料粒径不变时,铜的去除速率随着磨料质量分数的升高而迅速升高,而钽略有升高但不明显.当磨料质量分数为5％时,铜和钽的去除速率选择比最优.通过对比实验可以看出,用磨料质量分数为5％的抛光液抛光后,晶圆表面粗糙度较商用抛光液降低了约30％,并且磨料质量分数为5％的抛光液抛光后的晶圆蝶形坑明显优于商用抛光液抛光后的晶圆蝶形坑.
其他文献
本文主要以ORACLE数据库为例,对企业管理系统当中数据库的安全策略进行了全面探究,并且细致地对借助用户控制、角色管控、审计技术、并发控制以及数据库恢复及备份等技术手段完成数据库安全规划工作进行了论述。
针对广域光-接触多探针方法测量光刻胶表面形貌的需要,设计制作了Si基Si_3N_4弹性膜独立多探针,该探针呈9×9二维阵列分布。先利用ANSYS有限元软件分析探针Si_3N_4弹性薄膜的
【摘 要】作为一项集体性的竞技体育项目，排球运动对于人的心理素质和身体素质都有着非常积极的作用，对于判断力和团队精神更是有着非常大的益处。本文探讨了如何根据高职学生的特点和需要，灵活运用各种教学方法和手段，丰富教学内容，以推动高职院校排球运动的发展。 【关键词】高职院校 排球运动 教学改革 一、高职院校进一步发展排球教学的必要性 作为一项集体性的竞技体育项目，排球运动对于人的心理素质和身体素
【摘 要】素质教育是指，依据人的发展和社会发展的实际需要，以全面提高全体学生的基本素质为根本目的，以尊重学生主体性和主动精神，注重开发人的智慧潜能，注重形成人的健全个性为根本特征的教育。实施素质教育是我国社会主义现代化建设事业的需要。它体现了基础教育的性质、宗旨与任务。提倡素质教育，有利于遏制目前基础教育中存在着的“应试教育”和片面追求升学率的倾向，有助于把全面发展教育落到实处。 【关键词】中学
峰谷分时电价是需求侧管理中一个最重要的经济激励措施.合理的分时电价体系运用市场调节手段,有效地改变用户的用电模式,促使用户主动进行削峰填谷,缓解电网高峰期电力供应紧
±800kV楚穗直流输电工程重冰区段部分耐张塔采用分体式耐张塔,在更换极1跳线串时不能采用更换普通“V”串方法,为此研究“V”型跳线绝缘子串更换方法,以提高维护特高压直流
【摘 要】语言是传授知识，完成教学任务的重要工具。教学语言表达是否科学；直接关系到课堂教学的成败。白居易说：“感人心者。莫先乎情、莫始于言、莫切乎声、莫深乎义。”教师要重视教学语言的感情交流性，使教学语言“言为心声、声情并茂”，体现出教师爱的精神力量和个人魅力。那么，高中生物學教师如何保证语言的魅力呢？笔者认为应从以下几方面下功夫。 【关键词】高中生物 生物教学 教学语言 一、读音要正确 读
采用溶剂热合成技术,以乙醇为溶剂,以氯化锌、氯化亚锡、氯化铜和硫脲为反应剂,以草酸为还原剂,以十六烷基三甲基溴化铵为阳离子表面活性剂,直接在透明导电玻璃(FTO)衬底上制