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钙钛矿型氧化物电极对Ba_（0.6）Sr_（0.4）TiO_3薄膜电学性能的影响

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 2次 | 上传用户：yutianfeipao

【摘 要】

：

采用脉冲激光沉积技术(PLD)在单晶基片La Al O3(001)、Mg O(002)上分别制备Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3/La0.5Sr0.5Co O3(BST/LSCO)、Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3/SrRu O3(BST/SRO)异质结构,研究了LSCO和SRO底电极对BST薄膜晶相结构、表面形貌及BST薄膜电容器的电学特性的影响。研究发现,沉积在钙钛矿氧化物

【作 者】

：

秦文峰 韩孝强 

【机 构】

：

中国民航飞行学院航空工程学院

【出 处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2016年19期

【关键词】

：

Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜 脉冲激光沉积 底电极 介电常数 Ba_（0.6）Sr_（0.4）TiO_3thin film pulsed la 

【基金项目】

：

国家自然科学基金民航联合基金重点项目（U1233202）

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采用脉冲激光沉积技术(PLD)在单晶基片La Al O3(001)、Mg O(002)上分别制备Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3/La0.5Sr0.5Co O3(BST/LSCO)、Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3/SrRu O3(BST/SRO)异质结构,研究了LSCO和SRO底电极对BST薄膜晶相结构、表面形貌及BST薄膜电容器的电学特性的影响。研究发现,沉积在钙钛矿氧化物底电极上的BST薄膜表面平整,并都具有良好的外延生长。由于生长在LSCO底电极BST薄膜的压应力大于生长

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