论文部分内容阅读
氧化铝陶瓷基片的广泛应用以及金刚石薄膜自身优异的物理化学性能，使得氧化铝基金刚石薄膜复合材料成为研究热点。阐述了这种复合材料不同的制备方法，综述了氧化铝基金刚石薄膜复合材料的性能，介绍了超纳米金刚石薄膜在氧化铝陶瓷基片上的应用研究，指出通过适当的基体表面预处理以及合适的工艺条件可以制备出不同用途的氧化铝基金刚石薄膜复合材料。