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介绍了等离子体低真空退火炉的温度，真空度的控制系统，系统采用两级计算机组成，使用仿人智有ＰＩ双模态控制算法。
等离子体低真空退火炉仿人智能控制系统
【摘 要】
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介绍了等离子体低真空退火炉的温度，真空度的控制系统，系统采用两级计算机组成，使用仿人智有ＰＩ双模态控制算法。
【机 构】
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华中理工大学汉口分校
【出 处】
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江汉大学学报
【发表日期】
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1999年3期
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