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利用自组装单层膜技术，在玻璃基板上生长有机硅烷单分子膜层，以Hf（SO4）2·4H2O和HCl配制Hf02前驱液，通过液相沉积在硅烷的功能性官能团上诱导生成二氧化铪薄膜。通过接触角测试仪、AFM、SEM及XRD等手段对膜材料的表面形貌和结构进行了研究分析。结果表明，利用自组装单层法成功制备出立方型的HfO2晶态薄膜，薄膜表面均一。