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期刊论文
基片温度对Cr薄膜微结构和力学性能的影响
基片温度对Cr薄膜微结构和力学性能的影响
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:op0034
【摘 要】
:
由于具有高硬度,良好的耐磨性和抗腐蚀性,由电化学过程制取的硬Cr涂层已经大量用于工程构件和光学、表面装饰等领域中.
【作 者】
:
劳技军
韩增虎
胡晓萍
李戈扬
杨春生
【机 构】
:
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
2002年5期
【关键词】
:
基片温度
Cr薄膜
微结构
力学性能
铬薄膜
生长速率
磁控溅射
电子显微分析
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由于具有高硬度,良好的耐磨性和抗腐蚀性,由电化学过程制取的硬Cr涂层已经大量用于工程构件和光学、表面装饰等领域中.
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