【摘 要】
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日本东北大学金属材料研究所的福田承生教授及分子科学研究所的猿仓信彦副教授等研究小组经研究发现，LiCaAlF6这种晶体是适于用ArF（氯化氩）准分子激光刻蚀的透镜、光阑用材料．目
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日本东北大学金属材料研究所的福田承生教授及分子科学研究所的猿仓信彦副教授等研究小组经研究发现，LiCaAlF6这种晶体是适于用ArF（氯化氩）准分子激光刻蚀的透镜、光阑用材料．目前半导体制作用多选择波长248nm的KrF（氟化氪）准分子激光器，未来波长193nm的ArF激光器将有希
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