【摘 要】
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为实现0.02～0.03微米级精度的微量位移,单纯依靠构件的精度是很难成功的,因此必须采取特殊的位移输出结构形式及实测法定标。 一、“T”形弹性变形位移变换器的设计 本装置所
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为实现0.02～0.03微米级精度的微量位移,单纯依靠构件的精度是很难成功的,因此必须采取特殊的位移输出结构形式及实测法定标。 一、“T”形弹性变形位移变换器的设计 本装置所采用的弹性变形位移变换器原理如下。 如图1,弹簧钢片的C端固定,B端加定向约束,
In order to realize the micro-displacement of 0.02-0.03 micron accuracy, it is very difficult to rely on the accuracy of the component alone. Therefore, it is necessary to adopt a special structure of displacement output and calibration of the actual measurement method. First, “T” -shaped elastic deformation displacement transducer design The device uses the elastic deformation displacement transducer principle is as follows. Shown in Figure 1, the spring steel C-terminal fixed, B-plus directional constraints,
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