【摘 要】
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针对垂直互联柱在LTCC层压过程中产生错位的问题，采用ANSYS有限元仿真软件建立了一种LTCC微波组件的三维模型，分析了LTCC层压工艺参数与垂直互联柱错位的关系。分析结果表明：材
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针对垂直互联柱在LTCC层压过程中产生错位的问题，采用ANSYS有限元仿真软件建立了一种LTCC微波组件的三维模型，分析了LTCC层压工艺参数与垂直互联柱错位的关系。分析结果表明：材料在层压过程中产生的粘性变形是最终导致垂直互联柱产生错位的原因，压力是导致垂直互联柱产生错位的主要因素；选用压力10MPa、温度50℃、时间6min的层压工艺参数组合，得到的直径0．26mm的垂直互联柱错位度为1．39％。
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