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介绍了一种用于微波电路的中功率薄膜衰减器。该衰减器是由铝原子含量为50％的Ta/Al合金薄膜制成。其性能优良。
Ta／Al合金薄膜中功率衰减器的研究
【摘 要】
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介绍了一种用于微波电路的中功率薄膜衰减器。该衰减器是由铝原子含量为50％的Ta/Al合金薄膜制成。其性能优良。
【出 处】
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电子科技大学学报
【发表日期】
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1993年2期
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