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灯丝平面与衬底间距对金刚石膜沉积的影响
灯丝平面与衬底间距对金刚石膜沉积的影响
来源 :长春大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mm74481
【摘 要】
:
采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA-CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,灯丝平面与衬底间距对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Ra
【作 者】
:
赵利军
毕冬梅
朱莉
王丽丽
【机 构】
:
长春大学特殊教育学院,长春大学理学院,长春大学理学院吉林长春130022,吉林长春130022
【出 处】
:
长春大学学报
【发表日期】
:
2007年6期
【关键词】
:
金刚石膜
灯丝平面与衬底间距
膜的质量
diamond film
the distance between the filament and the subst
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采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA-CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,灯丝平面与衬底间距对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman手段对金刚石膜的生长特性进行了表征。
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