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椭圆偏振测量是一种具有原子层级灵敏度的无破坏性光学测量技术 .作者论证了当入射光波长λ及入射光偏振态确定时 ,对应于半径为R的细丝 ,其衍射光强不仅与散射角 φ有关 ,而且与散射场光强分布表现为m阶序列傅里叶变换的序列阶数m有关 ,因而选择 φ和m为测量参数 ;测量系统在连续采样的每一步进中密集采样 ,采用对同一数据点进行重复测量取均值的方法提高采样精度 ;为了提高信噪比 ,对采样数据用曲线拟合最小二乘法进行二次滤波 ;对实测数据进行分析 ,结果表明偏振散射特征及其对散射光场强度分布的影响与散射光在