重碳掺杂P型GaAsSb的GSMBE生长及其特性

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ZHENGDAN0226
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以四溴化碳(CBr4)作为碳掺杂源.采用气态源分子束外延(GSMBE)技术生长了InP衬底上晶格匹配的重碳掺杂P型GaAsSb材料.通过改变CBrt压力,研究了掺杂浓度在(1-20)×10^19cm^-3范围内的掺杂特性,得到的最大掺杂浓度为2.025×10^20cm^-3,相应的空穴迁移率为20.4cm^2/(V·s).研究了不同生长温度对掺碳GaAsSb外延层组分、晶格质量和表面粗糙度的影响,结果表明480℃是生长优良晶格质量的最优温度.
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