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描述了一种采用分辨率提高技术后用于可制造性设计的验证方法，该方法的目的是验证设计功能与设计目的是否一致，更精确地说，使刻印出来的图像与设计一致，还描述了这种基于模型的验证方法的过程建模，实例说明这种方法的性能。
亚波长设计中的可制造性验证方法
【摘 要】
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描述了一种采用分辨率提高技术后用于可制造性设计的验证方法，该方法的目的是验证设计功能与设计目的是否一致，更精确地说，使刻印出来的图像与设计一致，还描述了这种基于模型的验
【机 构】
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浙江大学超大规模集成电路设计研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2006年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金（批准号：90207002）及国家高技术研究发展计划（批准号：2002AA1Z1460）资助项目
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