【摘 要】
：
表面特征参数的在位检测对生产过程控制可提供十分有用的信息,从而可在制造过程中直接调节加工参数.检测要求取决于应用领域.对于超精密表面,例如微结构的或连续结构的光学器
【机 构】
：
德国夫琅和费生产工程研究所计量与质量管理部,亚琛,52074
论文部分内容阅读
表面特征参数的在位检测对生产过程控制可提供十分有用的信息,从而可在制造过程中直接调节加工参数.检测要求取决于应用领域.对于超精密表面,例如微结构的或连续结构的光学器件,宜应用干涉法进行形状检测,因为干涉法有极高的精度和适应性,此外,表面可被迅速检测,因而减少生产时间.但是干涉法对机器振动、噪声或空气扰动等外界影响十分敏感,因而很难在生产环境中完成干涉测量.提出了在机械加工环境中的干涉测量和基于对在位干涉检测中各种基本干涉影响分析结果基础上的仿真.
其他文献
1病名溯源手足口病是现代新发现的出疹性传染病,为西医学病名,最早于l957年由新西兰学者Seddon加以描述,1958年加拿大学者Robinson从患者粪便和咽拭中分离出CoxA16,同时发现
酒种 消费量 (ｋｌ)1 998年 1 997年较上年增长( % )构成比 ( % )1 998年 1 997年清 酒 1 0 52 3 4 7 1 1 2 2 1 8893 .81 1 .1 1 1 .9合成清酒 51 670 51 0 3 0 1 0 1 .3 0 .
名次国家 消费量(瓶 ) 名次国家 消费量(瓶 ) 名次国家 消费量(瓶 ) 名次国家 消费量(瓶 )1捷 克 2 57 9澳大利亚 1 50 1 7匈牙利 1 1 2 2 5哥伦比亚 902爱尔兰 2 4 3 1 0新
包括读、写、擦除和改写等信息存储现象的产生是由于在外加电压的作用下,铁电体“聚偏二氟乙烯-三氟胸苷”异分子聚合物的分子链偶极子的极性发生了变化.为达此目的,使原子力