膜厚监控系统的光谱宽度对波分复用窄带滤光片性能的影响

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mars1998
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通过对光学薄膜监控系统的分析,指出在波分复用超窄带滤光片的制备中必须考虑系统光谱宽度的影响.给出了监控波长带宽影响的模拟分析结果,表明监控波长带宽在滤光片通带半宽度一半以内时,可以满足膜系的性能要求.
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