【摘 要】
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采用溶胶-凝胶技术,使用旋涂方法在K9玻璃和单晶硅片上制备各种光学薄膜,并用紫外光源作为高能光子源辐照溶胶-凝胶光学薄膜.使用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、椭偏仪
【基金项目】
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中国科学院资助项目，国家自然科学基金，上海市重点学科建设项目，上海市科委国际合作项目，教育部跨世纪优秀人才培养计划
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采用溶胶-凝胶技术,使用旋涂方法在K9玻璃和单晶硅片上制备各种光学薄膜,并用紫外光源作为高能光子源辐照溶胶-凝胶光学薄膜.使用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、椭偏仪、铅笔硬度仪等测量和分析薄膜的特性.用输出波长1 064 nm、脉宽15 ns电光调Q激光系统测试薄膜的激光损伤阈值.结果表明,紫外光辐照可提高薄膜折射率和机械性能.采用紫外预处理还能将节瘤缺陷转换成孔洞缺陷,从而有效提高薄膜的激光损伤阈值,其中,单层ZrO2薄膜的激光损伤阈值达到50.6 J/cm2(1 064 nm,1 ns).
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