【摘 要】
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美国专利US6909093(2005年6月21日授权)本发明提供一种能够精确测量温度的低成本热电堆红外探测元件。该红外探测元件(1)采用一种氮化硅膜作为第一结构层(22)。与氧化硅不一
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美国专利US6909093(2005年6月21日授权)本发明提供一种能够精确测量温度的低成本热电堆红外探测元件。该红外探测元件(1)采用一种氮化硅膜作为第一结构层(22)。与氧化硅不一样,第一结构层(22)在拉伸方向具有内部应力,因此它可以防止弯曲现
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