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一种用于制备纳米SiC/Si3N4复合粉体的CVD新工艺的热力学分析
一种用于制备纳米SiC/Si3N4复合粉体的CVD新工艺的热力学分析
来源 :中国粉体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zsj520yxq
【摘 要】
:
综述了SiC/Si3N4复合粉体的力学性能和制备方法,提出了一种制备纳米级SiC/Si3N4复合粉体的新方法,并通过热力学分析提出了合成条件。
【作 者】
:
全学军
【机 构】
:
四川大学(西区)粉体研究所
【出 处】
:
中国粉体技术
【发表日期】
:
2000年6期
【关键词】
:
碳化硅
氮化硅
复合粉体
化学气相沉积工艺
热力学分析
复合陶瓷
siliconcarbide
siliconnitride
compositepowder
C
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综述了SiC/Si3N4复合粉体的力学性能和制备方法,提出了一种制备纳米级SiC/Si3N4复合粉体的新方法,并通过热力学分析提出了合成条件。
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