【摘 要】
：
开发了一种全新的等离子增强化学汽相淀积氧化硅和氮化硅薄膜制作技术，并首次将其成功地用于半导体功率器件芯片的钝化工艺，提高和保证了器件的性能和可靠性。
Developed a ne
论文部分内容阅读
开发了一种全新的等离子增强化学汽相淀积氧化硅和氮化硅薄膜制作技术，并首次将其成功地用于半导体功率器件芯片的钝化工艺，提高和保证了器件的性能和可靠性。
Developed a new plasma enhanced chemical vapor deposition of silicon oxide and silicon nitride film production technology, and for the first time successfully used in the semiconductor power device chip passivation process to improve and ensure the device performance and reliability .
其他文献
用于青藏铁路建设的电缆,必须具有良好的防腐、耐寒、抗紫外线性能。阐述了防腐耐寒电缆外护套材料的选择以及相应的挤出工艺,并对电缆挤出过程中的几项关键技术进行了较为深
布线电缆市场(包括安装线)在电缆行业中是最有竞争力的领域之一,因此所有大型厂家不得不注重降低生产成本,减少废品以及制订更为严格的公差。英国Francis Shaw有限公司(位于
运用试探性实验和正交实验对珍珠的染色技术进行研究,通过九组实验选择最佳实验条件,最终获得理想的绿色染色珍珠。
流程监控是检察机关加强内部监管、促进办案程序规范的重要方式。但目前部分检察机关还存在流程监控效率不高、监控乏力等问题。这一方面与部分地区案件管理部门力量配备薄弱
本文从光纤的模式理论出发，探讨单模光纤在成缆前后的截止波长的定义、含义、相关性，及其测量原理。
福建养生资源类型多样,包括森林养生资源、温泉养生资源、宗教养生资源等,在对福建养生资源本底及其开发现状进行分析的基础上,从加强宏观政策的引导、养生品牌的建设、养生
传质系数是决定气升式反应器传质特性的主要参数之一，文中介绍了一种新型的将陶瓷膜曝气系统与外环流反应器耦合的外环流膜反应器，考察了不同曝气气量，曝气压力，曝气方式以及曝气
日益严重的人口老龄化问题对医疗卫生的能力建设提出了重大挑战，要求改变目前医疗卫生服务的组织和提供方式。为此，新加坡制定了《医疗卫2020宏观规划》，将在加强能力建设，提高医
王绵之教授在不孕症的治疗中积累了丰富的经验,通过分析王绵之教授的验案,总结出王绵之教授治疗不孕的经验。根据证型的不同,王老将不孕症分为冲任虚寒、血虚肝郁、痰湿壅盛
不同的地理环境产生不同的语言文化,从而产生不同的文化区域。不同文化区域间的活动包括旅游活动,定会产生文化交流,翻译就是文化交流的一种有效方式。本文翻译地理学视域下