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几种半导体器件的硬X射线剂量增强效应研究

来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chcespring

【摘 要】

：

本文给出了大规模集成电路CMOS4069、浮栅ROM器件在北京同步辐射装置(BSRF)和钴源辐照的X射线剂量增强效应实验结果.通过实验在线测得CMOS4069阈值电压漂移随总剂量的变化,测

【作 者】

：

郭红霞 韩福斌 陈雨生 周辉 贺朝会 谢亚宁 黄宇营 何伟 

【机 构】

：

西北核技术研究所,中国科学院高能物理研究所

【出 处】

：

核技术

【发表日期】

：

2002年10期

【关键词】

：

半导体器件 CMOS EEPROM X射线 剂量增强效应 同步辐射 CMOS  EEPROM  X-ray Dose enhancement effects 

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本文给出了大规模集成电路CMOS4069、浮栅ROM器件在北京同步辐射装置(BSRF)和钴源辐照的X射线剂量增强效应实验结果.通过实验在线测得CMOS4069阈值电压漂移随总剂量的变化,测得28f 256、29c256位错误数随总剂量的变化,给出相同累积剂量时X光辐照和γ射线辐照的总剂量效应损伤等效关系.这些结果对器件抗X射线辐射加固技术研究有重要价值.

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