激光功率密度对类金刚石膜结构性能的影响

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuln6
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用大功率高重复频率准分子激光溅射热解石墨靶制备了类金刚石膜,研究了激光功率密度对膜的结构和性能的影响,分析了膜的紫外可见透过谱及膜的带隙结构、Raman谱和电子衍射图,结果表明随着激光功率密度由108W/cm2提高至1010W/cm2,膜的结构也由无定形非晶结构转变为纳米晶金刚石结构,膜中的sp3键舍量及各项性能均有提高. Diamond-like carbon films were prepared by pyrolytic graphite target sputtering with high power and high repetition rate excimer laser. The effects of laser power density on the structure and properties of the films were studied. The UV-visible transmission spectrum and the band gap structure , Raman spectrum and electron diffraction pattern. The results show that the structure of the film also changes from amorphous to nanocrystalline diamond with the increase of laser power density from 108 W / cm2 to 1010 W / cm2. The number of sp3 bond in the film and The performance has improved.
其他文献
采用快速提拉法生长出了透明、完整的γLiAlO2晶体,但是晶体的高熔点和易挥发性限制了γLiAlO2晶体质量.采用气相传输平衡法(vaportransportequilibrationtechnique,VTE)工艺
以硝酸铈和硝酸锆为原料用溶剂热的方法在甲酸中120℃加热24h制得了纳米Ce0.8Zr0.2O2固溶体材料,利用X射线衍射(XRD)、Raman光谱、扫描电镜(SEM)和投射电镜(TEM)对其进行了表
为了提高有机电致发光器件的效率和稳定性,制作了聚合物/有机小分子异质结掺杂型电致发光二极管.它以新型PTPD(聚TPD)为空穴传输材料,高效荧光材料Rubrene为掺杂剂.异质结基
建立圆柱体任意两个截面间的一般黏弹性转动力学方程,讨论了相对转角的稳定性,由于此方程为变系数的二阶线性的非齐次常微分方程组,没有统一的求解方法.因此,针对其中的一类
目的:探讨广南县2011年-2013年的麻疹抗体检测结果,分析麻疹抗体的预防对策。方法:对广南县2011年-2013年的麻疹抗体检测结果进行分析,从中找到麻疹的预防措施,控制麻疹发病
当滑动变阻器滑动时,电路中的电流、电压(除电源电压)都发生了变化,此时如何判断电路中电流变化关系和电压变化关系呢?本文将对这种问题进行分类,提出新型解题方法,快捷解决
量子点光学微腔器件在低阈值激光器和单光子光源等量子信息处理技术领域有重要的应用前景。为了有效地实现受激辐射,光学微腔需要在高介电常量的玻璃微球中嵌入高浓度的量子
采用改进的损伤度函数模型,该模型将材料损伤断裂看作为一种典型的逾渗过程,根据逾渗临界准则,采用应力松弛函数来描述损伤后期微损伤之间的连通效应,考虑了损伤对材料本构的
介绍了一种检测光学薄膜表面总积分散射(TIS)分布的总积分散射仪.对仪器的基本结构、理论基础、测量原理以及系统性能等进行了阐述,提出了抑制系统噪音和提高测量精度的有效