【摘 要】
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基于结构鲁棒设计思想,针对两个振动自由度的静电梳驱动折叠梁微机械滤波器,在指定耦合梁宽度等于振子折叠梁宽度的前提下,推导出了两个固有频率对微梁宽度工艺误差的灵敏度
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基于结构鲁棒设计思想,针对两个振动自由度的静电梳驱动折叠梁微机械滤波器,在指定耦合梁宽度等于振子折叠梁宽度的前提下,推导出了两个固有频率对微梁宽度工艺误差的灵敏度模型,得到了对工艺误差不敏感的条件.并以矩形作为振子基本形状,提出了振子结构鲁棒设计方法,推导出了折叠梁宽度a0与补偿孔壁厚t、补偿孔数量N的重要关系.最后,给出了设计实例.得到的相关结论对其它类型的微机械滤波器的设计也有指导意义.
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