【摘 要】
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研发制备NATA-PH-1型催化剂,能够高效的将磷烷中约100×10^-6砷烷去除到仪器检测限30×10^-9以下,完全能够达到半导体制程关于高纯磷烷中砷烷低于100×10^-9的标
【机 构】
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江苏南大光电材料股份有限公司,江南大学化学与材料工程学院
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研发制备NATA-PH-1型催化剂,能够高效的将磷烷中约100×10^-6砷烷去除到仪器检测限30×10^-9以下,完全能够达到半导体制程关于高纯磷烷中砷烷低于100×10^-9的标准。与传统沸石分子筛吸附机理不同,NATA-PH-1型催化剂能够在室温条件下诱导砷烷分解。其中砷键合在催化剂表面,氢气不属于半导体制程杂质。此催化剂在动态纯化试验中,砷烷分解容量达到4.5 L/L（线速率15 cm/s）,且二次再生后仍保持高活性,与其较大的静态分解饱和量有关。目前,该催化剂已通过
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