电子特气相关论文
综述了连续精馏、间歇精馏、亚沸精馏、加减压精馏、共沸精馏、萃取精馏、反应精馏、低温精馏等多种精馏技术在电子化学品制备中的......
高纯甲硅烷是半导体工业中最重要“源”性气体,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、显示面板及车用动力电池等领域,曾被美、日、韩等......
为解决高纯电子级溴化氢源头制备的工程技术难点,延续先前溴化氢合成反应的本征动力学研究,作者将研究视角从微观动力学理论转向宏......
为解决高纯电子级溴化氢源头制备的工程技术难点,对溴化氢合成过程的各基元反应进行了深度剖析,采用随机算法进行了动力学模型构建......
本文简要介绍了高纯硅烷灌装在国内发展的历程,国内工程设计的标准、规范现行情况,重点介绍了在高纯硅烷灌装工程设计中的关键设备......
介绍了2018年中国特气的发展,展望了中国特种气体的未来发展,强调我国特种气体走自主发展、正规化、规模化、国际化的重要性。......
介绍了硅烷（SiH4）的物化性质和应用。电子和半导体行业用SiH4要求有高的纯度，重点介绍了SiH4的精制工艺。SiH4的精制方法主要有吸附法......
本文综述了在2013年～2014年上半年间日本半导体用电子特气方面的市场变化,根据不同应用领域对电子特气的需求,开发出新技术和新装备......
研究了吸气剂对电子特气氢、氩气纯化的基本原理,着重叙述了吸气剂的机工艺流程，采用两个吸附反应器对原料气进行纯化，每个吸附反应......
研发制备NATA-PH-1型催化剂,能够高效的将磷烷中约100×10^-6砷烷去除到仪器检测限30×10^-9以下,完全能够达到半导体制程......
