制备条件对ZrO2光学薄膜特性的影响

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以锆酸丁酯为前驱体,采用溶胶-凝胶工艺,制备了性能稳定的ZrO2溶胶,通过在其中添加有机粘舍荆PVP和旋涂镀膜法分别制得了ZrO2薄膜和ZrO2-PVP复合薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、椭圆偏振光谱仪、红外分光光度计(FTIR)、原子力显微镜(AFM)等方法研究了不同热处理温度下的ZrO2和ZrO2—PVP复合薄膜的特性,并用输出波长1.06μm:脉宽10ns的电光调Q激光系统产生的强激光进行辐照实验。测试其激光损伤阚值,观察其损伤形貌。实验发现,经过粘舍刺添加能很好地提高薄膜的激光损伤闻值,300℃是
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