【摘 要】
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芯片封测在半导体芯片生产过程中占有重要的地位.为了检测芯片的引脚、字符和表面划痕等多种缺陷，搭建了高精度芯片图片采集装置，应用形态学和数学理论相结合的图像识别方法对芯片图像进行缺陷识别.在检测过程中首先对图像进行灰度化、二值化、自动校正处理；其次以连通域为目标，定位引脚的中心，根据坐标特点进行分类，获取引脚外接矩形的长、宽、面积等信息，同时利用闭运算和开运算对图像进行处理，并寻找封装边界，从而将芯
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（61007006）；
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芯片封测在半导体芯片生产过程中占有重要的地位.为了检测芯片的引脚、字符和表面划痕等多种缺陷，搭建了高精度芯片图片采集装置，应用形态学和数学理论相结合的图像识别方法对芯片图像进行缺陷识别.在检测过程中首先对图像进行灰度化、二值化、自动校正处理；其次以连通域为目标，定位引脚的中心，根据坐标特点进行分类，获取引脚外接矩形的长、宽、面积等信息，同时利用闭运算和开运算对图像进行处理，并寻找封装边界，从而将芯片分割成引脚区域和字符区域；接着对引脚图像进行去噪和图像锐化；然后根据引脚图像的特征，进行基于图像像素点变化的引脚内外侧图像的切割；最后利用连通域法确定引脚位置并利用各种缺陷的特点实现各类芯片引脚缺陷的识别和检测.本芯片引脚缺陷检测方法，适用于多类型小样本芯片的引脚缺陷检测，对于基于神经网络的芯片检测方法是一种有益的补充，对于芯片的研究和生产环节的检测都具有指导意义.
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