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The Effect of Gas Flow Rate on Radio-Frequency Hollow Cathode Discharge Characteristics
The Effect of Gas Flow Rate on Radio-Frequency Hollow Cathode Discharge Characteristics
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wwchao
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
ZHAO Guoming
SUN Qian
ZHAO Shuxia
GAO Shuxia
ZHANG Lianzhu
【机 构】
:
College of Physics Science and Information Engineering, Hebei Normal University,Shijiazhuang 050024,
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2014年7期
【关键词】
:
gas flow rate
rf hollow cathode discharge
PIC/MCC simulation
N2 plasma
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本文通过对荣华二采区10<
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