在a-平面蓝宝石衬底上分子束外延生长的ZnO和ZnMgO材料结构和光学性质

来源 :光散射学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：magicarpet

【摘要】

：

氧化锌材料是新一代宽禁带光电子半导体材料，我们通过等离子体分子束外延设备，在a-plane的蓝宝石衬底生长了高质量的氧化锌外延材料。在生长过程中用反射高能电子束衍射仪(RHEE

【作者】

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李树玮小池一步矢野满明

【机构】

：

中山大学光电材料与技术国家重点实验室,大阪工业大学新材料研究中心

【出处】

：

光散射学报

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

氧化锌薄膜分子束外延生长光致发光透射光谱半导体材料禁带宽度镁酸锌 ZnO and ZnMgO molecular beam epitaxy ph

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氧化锌材料是新一代宽禁带光电子半导体材料，我们通过等离子体分子束外延设备，在a-plane的蓝宝石衬底生长了高质量的氧化锌外延材料。在生长过程中用反射高能电子束衍射仪(RHEED)，在位地研究了生长时材料薄膜的表面形貌。通过调节ZnMgO材料镁的组份。生长了禁带宽度可调的宽禁带材料。用紫外-可见透射光谱研究了ZnO，Zn0.89Mg0.11O和Zn0．80Mg0.20O薄膜材料的透射和吸收光谱性质，观察到Zn0.89Mg0.11O,Zn0.80Mg0.20O材料的吸收边的蓝移现象等。以上说明了我们用分子束

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