【摘 要】
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一、引言 空间科学,航天事业,原子能工业等现代科学技术对真空技术提出了一系列的高要求,诸如:①极限真空度达到高、超高甚至极高的范围;②极大的抽速;③极大的排气量;④干净
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所 ,中国科学院近代物理研究所
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一、引言 空间科学,航天事业,原子能工业等现代科学技术对真空技术提出了一系列的高要求,诸如:①极限真空度达到高、超高甚至极高的范围;②极大的抽速;③极大的排气量;④干净无污染;⑤很多情况下系统大型到难于烘烤,且几何形状复杂,气隙小存在着严重的通导限制;还要有运行、维
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