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2007年3月21日，中国上海．诺发系统有限公司（NOVELLUS）正式推出VECTOR Express？新产品。这是诺发公司300mm PECVD平台的最新增强版本，其工艺生产速度提高了40％，保持了业界领先的生产效率。此外，VECTOR Express还建立了薄膜工艺性能的新标杆，使该设备能够被延伸到45nm及以下工艺节点。