【摘 要】
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用ＭＯＣＶＤ在（１００）、ＧＳＭＢＥ在（１００）和（１１１）ＢＧａＡｓ上生长了ＧａＩｎＰ外延层．ＰＬ测试表明，（１００）衬底上ＧａＩｎＰＰＬ峰的能量比计算的带隙分别小４３（ＧＳＭＢＥ生长）和１０４ｍｅＶ（ＭＯＣＶＤ生长）．用Ｋｕｒｔｚ等人的模型对ＭＯＣＶＤ和ＧＳＭＢＥ生长的ＧａＩｎＰ中有序度的不同进行了解释．并讨论了衬底晶向对ＧａＩｎＰ中有序程度的影响．
The
【机 构】
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中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
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用ＭＯＣＶＤ在（１００）、ＧＳＭＢＥ在（１００）和（１１１）ＢＧａＡｓ上生长了ＧａＩｎＰ外延层．ＰＬ测试表明，（１００）衬底上ＧａＩｎＰＰＬ峰的能量比计算的带隙分别小４３（ＧＳＭＢＥ生长）和１０４ｍｅＶ（ＭＯＣＶＤ生长）．用Ｋｕｒｔｚ等人的模型对ＭＯＣＶＤ和ＧＳＭＢＥ生长的ＧａＩｎＰ中有序度的不同进行了解释．并讨论了衬底晶向对ＧａＩｎＰ中有序程度的影响．
The GaInP epitaxial layer was grown on (100) and (111) BGaAs at (100) with MMBVD at GSMBE. The PL test shows that the energy of the GaInPPL peak on the (100) substrate is smaller than the calculated bandgap 43 (GSMBE growth) and 104 meV (MOCVD growth), respectively. The Kurtz et al. Model is used to explain the difference in ordering between GaInP grown by MOCVD and GSMBE. The effect of substrate orientation on the degree of ordering in GaInP was also discussed.
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