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在集成电路（IC）中，为了进行有效的成品率估计和故障分析，与光刻有关的缺陷形状通常假设为圆模型，然而，真实缺陷的形状多种多样，本文提出一种真实缺陷的矩形模型及与之相关的关键面积计算模型，该模型既考虑了真实缺陷的形状又考虑了IC版图布线的特点，在缺陷引起故障概率预测方而，仿真结果表明新模型比圆模型更接近真实缺陷引起的故障概率。