MEMS触觉传感器国内外研究现状与发展趋势

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微小型化是当今技术领域发展的重要趋势之一,传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志,它与通信、计算机技术构成现代信息产业三大支柱。触觉传感技术是实现智能机器人技术关键因素之一,其发展对智能机器人具相当重要意义,其广泛应用一直备受学者们关注,尤其在生物医药、食品加工等应用非常广泛。许多国家均不同程度花费大量人力、物力和财力从事触觉传感器的研究。 Micro-miniaturization is one of the important trends in the development of today’s technology. Sensor technology is an important symbol of the development of modern science and technology. It constitutes the three pillars of modern information industry with communication and computer technology. Tactile sensing technology is one of the key factors to achieve intelligent robot technology. Its development is of great importance to intelligent robots. Its widespread application has attracted much attention from scholars, especially in biomedicine and food processing. Many countries spend a great deal of manpower, material resources and financial resources on tactile sensor research to varying degrees.
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