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采用射频磁控溅射制备工具有（100）择优取向的赝立方钙钛矿结构的LaNiO3-x薄膜，并对薄膜在265℃的衬底温度下进行了原位热处理。测试结果表明薄膜具有金属导电性，薄膜中晶粒大小约为10nm，并且热处理对薄膜的结构没有影响。同时，随着热处理时间延长，薄膜品格的含氧量、电导率、光学折射率以及消光系数都将逐步降低。该文采用经典电磁理论，通过计算机模拟成功解释了这些实验结果和证明了以前给出的理论解释。此外，数值模拟和实验结果同时表明在纯氩气氛中溅射制备的LaNiO3薄膜晶格中存在氧空位，为了提高电导率，溅射时